工艺的异常状态诊断装置和异常状态诊断方法

摘要

异常状态诊断装置(1A)将正常时的工艺的状态作为基准，根据将从基准偏离的大小指标化的多个偏离指标，诊断上述工艺的异常状态，异常状态诊断装置(1A)具备：颜色映射部(64)，其将第一轴设为包括时间在内的经时要素的轴，将第二轴设为上述偏离指标的项目的轴，构成二维的矩阵，针对矩阵的各单元，将偏离指标的每个项目和每个经时要素的数据建立对应，针对矩阵的各单元分配与偏离指标的大小相应的颜色；和色图显示部(65)，其显示由颜色映射部制作的色图。