光机电射束操纵系统

摘要

光机电射束操纵系统。本发明涉及用于操纵光辐射的光机电系统，该光机电系统包括能够旋转移动或能够平移移动的可移动元件，其中，该元件本身是光学元件或包括光学元件。此外，该系统包括：用于该可移动元件的定子，该定子具有能够实现偏转范围的凹部；该定子与该可移动元件之间的柔性连接件，该柔性连接件提供相应的运动学限定移动性；以及用于使该可移动元件偏转的致动器，其中，该定子被一体连接到该可移动元件，并且该一体连接件由硅酸盐玻璃构成，特别是由石英玻璃构成，并且该凹部按照下列方式绕该可移动元件布置：该可移动元件能够借助于该致动器根据所述运动学限定移动性来偏转，同时，所述连接件发生弹性变形。