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公开/公告号CN110870087A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-06
原文格式PDF
申请/专利权人 高丽大学校世宗产学协力团;
申请/专利号CN201880045708.5
发明设计人 金相日;洪雯杓;金保成;尹晧园;河璟旭;林允吴;
申请日2018-07-09
分类号
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司;
代理人延美花
地址 韩国世宗市
入库时间 2023-12-17 06:47:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-31
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L51/00 申请日:20180709
实质审查的生效
2020-03-06
公开
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机译: 图像制作方法,基板检查方法,其上记录有用于执行图像制作方法或基板检查方法的程序的非暂时性记录介质以及基板检查装置
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