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伸缩性基板及伸缩性基板制作方法、伸缩性基板结构体制作装置及伸缩性基板结构体制作方法

摘要

本发明一实施例的伸缩性基板包括:第一模量区域,具有第一模量;第二模量区域,相对于上述第一模量区域沿着面方向形成,具有大于上述第一模量的第二模量;以及第三模量区域,位于上述第一模量区域与上述第二模量区域之间,具有在上述第一模量与上述第二模量之间逐渐改变的界面模量,上述第三模量区域的上述界面模量可向厚度方向恒定。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-03-31

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L51/00 申请日:20180709

    实质审查的生效

  • 2020-03-06

    公开

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