光学元件、像差校正装置、光刻机系统和像差校正方法

摘要

本公开涉及光学元件、像差校正装置、光刻机系统和像差校正方法。提供了一种光学元件，包括：透明的顶板；透明的底板；位于顶板与底板之间的多个隔间，其中，每个隔间彼此液体密封并由具有不同折射率的第一液体和第二液体充满，第一液体和第二液体之间相互分离并形成与顶板和底板近似平行的界面；和加热元件，用于对每个隔间中的第一液体和第二液体分别加热，其中，加热元件控制每个隔间中的第一液体和第二液体的温度，以利用第一液体和第二液体的受热膨胀来控制每个隔间中的界面的位置。