法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-26
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01J35/06 申请公布日:20150311 申请日:20141031
发明专利申请公布后的驳回
2015-05-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J35/06 申请日:20141031
实质审查的生效
2015-03-11
公开
公开
机译: 氧化石墨烯泡沫,氧化石墨烯/碳纳米管复合泡沫,石墨烯气凝胶或石墨烯/碳纳米管复合气凝胶
机译: 氧化石墨烯泡沫,氧化石墨烯/碳纳米管复合泡沫,氧化石墨烯气凝胶或氧化石墨烯/碳纳米管复合气溶胶及其生产方法
机译: 使用碳纳米管或石墨烯来增加半导体装置尺寸的半导体复合结构,其制造方法以及包括该碳纳米管或石墨烯的半导体装置