一种分子量窄分布的丙烯酸酯类共聚物及其光刻胶组合物

摘要

本发明涉及窄分布甲基丙烯酸酯类光敏聚合物的合成及一种能够在碱性水溶液中显影的非化学增幅型负性光刻胶组合物。利用RAFT聚合制备窄分布甲基丙烯酸酯类聚合物，通过甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)上环氧基团与聚合物上羧基间的开环反应引入光敏基团，得到窄分布甲基丙烯酸酯类光敏聚合物。以合成的光敏聚合物为主体树脂，加入光引发剂、活性稀释剂等助剂制备可在碱性水溶液中显影的非化学增幅型负性光刻胶。