一种压缩冷冻法回收LED混合废气中氨气的实验装置及其验证方法

摘要

本发明公开了一种压缩冷冻法回收LED混合废气中氨气的实验装置及其验证方法，主要用于验证在半导体发光二极管（简称LED）在氨气和三甲基镓气相沉积成GaN，生产过程中排出氨气、氮气、氢气混合气体，用压缩冷冻法工艺回收混合气体中少量的氨气，在工艺设计过程中验证化工艺软件测算的正确性，防止设计与实际实施过程中可能会产生的偏差，提高设计精度，减少投资损失的方法。