紫外球面微通道板光子计数成像探测器

摘要

本发明涉及一种紫外球面微通道板光子计数成像探测器，包括：置于真空壳体内，由上至下设置的光电阴极、微通道板、位置灵敏阳极；置于真空壳体前端的输入窗；置于真空壳体后端的带有金属输出电极的金属输出窗；以及置于真空壳体外部的位置读出电路和计算机图像输出电路；所述输入窗、与真空壳体、金属输出窗封接为一体形成真空气密的结构；所述输入窗的内表面上镀有一层能透射紫外线的导电薄膜，所述的光电阴极制作于该导电薄膜上；所述输入窗及微通道板为曲率半径相同的凸球面形状。本发明可减小大视场成像系统的球差，提高系统的成像质量；作为单光子计数探测器，本发明具有单光子灵敏度；同时紫外阴极具有很低的暗噪声。