公开/公告号CN103846753A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-06-11
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡市协新气动有限公司;
申请/专利号CN201210509962.0
发明设计人 陈莉;
申请日2012-11-30
分类号B24B7/00;B24B47/14;F15B11/04;
代理机构
代理人
地址 213124 江苏省无锡市滨湖区胡埭西溪中心路(胡埭街道)
入库时间 2024-02-19 23:15:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-07-20
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B24B7/00 申请公布日:20140611 申请日:20121130
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-06-11
公开
公开
机译: 微机械组件,即惯性传感器,具有微机械功能层,该功能层在垂直于基板主延伸平面的特定比例的基板厚度上延伸
机译: 微机电液控制装置
机译: 微机电液体喷射装置