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增强导电氧化物层雾度的方法及透明导电氧化物透明基底

摘要

本发明提供了一种增强透明导电氧化物层雾度的方法及具有雾度的透明导电氧化物透明基底,所述方法包括:提供透明基底;在透明基底上形成材质为透明氧化物晶体的中间层;利用物理气相沉积工艺在所述中间层上沉积氧化锌基材质的透明导电氧化物层;其中,作为中间层的透明氧化物晶体在形成过程中,至少在部分区域内所述透明氧化物晶体提供与氧化锌基的(11-20)面晶格匹配的晶向,使得对应区域内的透明导电氧化物层的(11-20)面外露。通过增设具有特殊晶向的中间层,实现在物理气相沉积形成透明导电氧化物层时对透明导电氧化物层晶向的控制,使得较不平坦的晶面朝上设置而外露,从而达到对透明导电氧化物层雾度的控制。

著录项

  • 公开/公告号CN103426968A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2013-12-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 杜邦太阳能有限公司;

    申请/专利号CN201210148061.3

  • 发明设计人 路胜博;

    申请日2012-05-14

  • 分类号

  • 代理机构深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人唐华明

  • 地址 中国香港新界白石角香港科学园科技大道西8号尚湖楼西5楼501-509室

  • 入库时间 2024-02-19 21:31:47

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-05-25

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L31/18 申请公布日:20131204 申请日:20120514

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2013-12-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20120514

    实质审查的生效

  • 2013-12-04

    公开

    公开

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