基于平面光波导粗波分复用器/解复用器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种基于平面光波导型粗波分复用器/解复用器，包括衬底（1）、下包层（2）、芯层（3）和上包层（4），在所述芯层（3）设有光路，光路中设有多个深沟槽，所需中心波长的薄膜滤波片（5）固定在深沟槽中，所述光路设置有一个输入端（6）和N个输出端（7），所述输出端分布在器件两侧，N为大于或等于1的自然数，每个输出端（7）对应一个所述薄膜滤波片（5）；本发明还公开了一种基于平面光波导型粗波分复用器/解复用器的制造方法。本发明的CWDM复用器/解复用器结构紧凑、制造工艺简单，成本较低，稳定性好，且隔离度大，对薄膜滤波技术要求相对较低，导致生产时间缩短、效率提高以及原材料需求降低。