MEMS角速度传感器的温度稳定性能保障的分段方式有源恒温控制装置及方法

摘要

本发明涉及用MEMS角速度芯片内的分段方式有源恒温控制方法来控制MEMS角速度传感器内的温度，使其保持稳定的温度状态，并且工作在温度变化速度被限制在一定的温度变化速度值之内，从而改善MENS角速度传感器的在不同的温度环境使用时的温度特性，保障MEMS角速度信号输出精度的方法及装置。