法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-04-19
专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C16/40 登记生效日:20170329 变更前: 变更后: 申请日:20090505
专利申请权、专利权的转移
2013-07-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/40 申请日:20090505
实质审查的生效
2013-06-12
公开
公开
机译: 致孔剂,致孔前驱体及其使用方法提供低介电常数的多孔有机硅玻璃薄膜
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