法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-04-01
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N30/02 申请公布日:20130327 申请日:20121204
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-04-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N30/02 申请日:20121204
实质审查的生效
2013-03-27
公开
公开
机译: 晶片质量检验方法和装置,以及包括晶片质量检验方法的半导体器件制造方法
机译: 三维固体模型的功能质量检验方法
机译: 质量检验方法,质量检验装置和质量检验系统