公开/公告号CN110546441A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-06
原文格式PDF
申请/专利权人 丹佛斯有限公司;
申请/专利号CN201880026639.3
申请日2018-04-25
分类号F25B5/02(20060101);F25B49/02(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人赵金强
地址 丹麦诺堡市诺堡维81号DK-6430
入库时间 2024-02-19 15:53:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-31
实质审查的生效 IPC(主分类):F25B5/02 申请日:20180425
实质审查的生效
2019-12-06
公开
公开
机译: 紫外线照射装置,具有调节或控制装置,用于控制冷却功率,该调节或控制装置布置在冷却管中,并且另一冷却管在辐射源的表面中作为抽吸或压力通道引导。
机译: 可以有效地控制真空抽吸压力的基板切割设备及其控制真空抽吸压力的方法
机译: 可以有效地控制真空抽吸压力的基板切割设备及其控制真空抽吸压力的方法