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公开/公告号CN110431654A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-08
原文格式PDF
申请/专利权人 东洋炭素株式会社;
申请/专利号CN201880019339.2
发明设计人 鸟见聪;须藤悠介;篠原正人;寺元阳次;坂口卓也;野上晓;北畠真;
申请日2018-03-20
分类号
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人龙淳
地址 日本大阪府
入库时间 2024-02-19 15:35:03
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/205 申请日:20180320
实质审查的生效
2019-11-08
公开
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