公开/公告号CN110350077A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-10-18
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201810289843.6
申请日2018-04-03
分类号
代理机构上海光华专利事务所(普通合伙);
代理人余明伟
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2024-02-19 15:02:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L39/02 申请日:20180403
实质审查的生效
2019-10-18
公开
公开
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