公开/公告号CN110411897A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-05
原文格式PDF
申请/专利权人 国家能源投资集团有限责任公司;北京低碳清洁能源研究所;
申请/专利号CN201810399432.2
申请日2018-04-28
分类号
代理机构北京润平知识产权代理有限公司;
代理人刘虎
地址 100011 北京市东城区安定门西滨河路22号
入库时间 2024-02-19 14:53:38
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N11/00 申请日:20180428
实质审查的生效
2019-11-05
公开
公开
机译: 原位监测设备-等离子刻蚀,该设备的原位监测方法以及原位reinigugnsverfahren用于从等离子刻蚀腔室中去除残留物
机译: 原位监测等离子刻蚀设备,原位监测方法和原位清洗方法,用于去除等离子刻蚀室中的残留物
机译: 具有原位监测的等离子处理装置和该装置的原位监测方法