透明氟基薄膜的形成方法及通过该方法形成的透明氟基薄膜

摘要

本发明一实施例涉及一种透明氟基薄膜的形成方法及通过该方法形成的透明氟基薄膜，所要解决的技术问题是提供透明氟基薄膜的形成方法及通过该方法形成的透明氟基薄膜，该透明氟基薄膜的内部没有孔隙或孔隙极小且具有纳米结构，因此不仅具有高透光率，而且具有高硬度和接合强度，从而能够保护显示装置的透明窗。为此，本发明公开一种透明氟基薄膜的形成方法及通过该方法形成的透明氟基薄膜，所述透明氟基薄膜的形成方法包括：从输送气体供应部接收输送气体，并从粉末供应部接收YF3粉末，从而将所述YF3粉末以气溶胶状态输送的步骤；将气溶胶状态输送的所述YF3粉末撞碎在工艺腔室内的基材上，从而在所述基材上形成YF3透明氟基薄膜的步骤。