公开/公告号CN110209011A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-09-06
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力集成电路制造有限公司;
申请/专利号CN201910382467.X
发明设计人 魏娟;
申请日2019-05-09
分类号
代理机构上海浦一知识产权代理有限公司;
代理人栾美洁
地址 201315 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区康桥东路298号1幢1060室
入库时间 2024-02-19 13:49:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-08
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F1/36 申请日:20190509
实质审查的生效
2019-09-06
公开
公开
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