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公开/公告号CN110195202A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-09-03
原文格式PDF
申请/专利权人 沈阳大学;
申请/专利号CN201910377945.8
发明设计人 孙彬;尤宏广;郝明欣;刘振宇;曹光明;
申请日2019-05-08
分类号C23C2/02(20060101);C23C2/40(20060101);C23C2/06(20060101);
代理机构21205 沈阳技联专利代理有限公司;
代理人赵越
地址 110044 辽宁省沈阳市大东区望花南街21号
入库时间 2024-02-19 12:50:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-27
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C2/02 申请日:20190508
实质审查的生效
2019-09-03
公开
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