一种带有多级过滤钇源大颗粒反应物机构的MOCVD装置

摘要

本发明公开了一种带有多级过滤钇源大颗粒反应物机构的MOCVD装置，包括真空镀膜腔室，真空泵和多级过滤机构；所述多级过滤机构下部设置有过滤入口；所述多级过滤机构上部设置有过滤出口；所述过滤入口与真空镀膜腔室连通；所述过滤出口真空泵连通。本案经过不同目数的过滤网多级过滤后，解决多余钇原子大颗粒反应物进入真空泵问题；同时过滤网上方增加了凸轮机构和电机，将残留在过滤网上的粉尘脱落下来，延长过滤网使用寿命；有效保护真空泵，保证MOCVD中镀膜工艺的成品率和效率。