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物体表面管理方法以及物体表面管理系统

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本发明公开了一种物体表面管理方法及物体表面管理系统，该物体表面管理方法用以管理待测物体的表面上凹槽的槽深，该物体表面管理方法包含：(a)以光源发出感测光至该凹槽：(b)通过光侦测器从该表面接收第一反射感测光以及从该凹槽的底部接收第二反射感测光；以及(c)根据该第一反射感测光以及该第二反射感测光计算该凹槽的槽深。

著录项

公开/公告号CN110108225A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-09

原文格式PDF
申请/专利权人原相科技股份有限公司;
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申请/专利号CN201811374104.3
发明设计人王国振;邱昌盛;
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申请日2018-11-19
分类号G01B11/22(20060101);G01B11/02(20060101);
代理机构44287 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所;
代理人胡海国
地址中国台湾新竹科学工业园区
入库时间 2024-02-19 12:18:13

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-09-03

实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/22 申请日:20181119

实质审查的生效
2019-08-09

公开

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