用于提升或降低载体的组件、用于在真空腔室中运输载体的设备、以及用于提升或降低载体的方法

摘要

提供一种用于在真空腔室中提升或降低载体(10)的组件(100)。所述组件(100)包括：载体支撑件(20)，可在向上方向上或向下方向上移动；和保持装置(30)，被配置为在所述载体的向上移动或向下移动期间非接触保持所述载体的上部部分。此外，描述一种用于在真空腔室中运输载体的设备，所述设备包括用于载体的提升或降低的组件。此外，描述一种用于在真空腔室中提升或降低载体的方法。