硅锭的切割方法、硅晶圆的制造方法及硅晶圆

摘要

本发明提出一种方法，在使用固定磨粒线锯切割具有超过300mm的直径的硅锭时，能够将镍引起的污染抑制为低于检出限。一种硅锭的切割方法，其为使至少一根在裸线的表面固定了多个磨粒的固定磨粒线材运行并且将具有超过300mm的直径的硅锭推压送入上述固定磨粒线材，以对上述硅锭进行切割的方法，该方法的特征在于，上述硅锭的切割是在30小时以下的切割时间内进行的。