法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B27/00 申请日:20190314
实质审查的生效
2019-05-10
公开
公开
机译: 2透镜光学系统扫描型像差校正后的离子束装置,3透镜光学系统扫描型像差校正后的离子束装置和2透镜光学系统投影型像差校正后的离子束照相系统,3透镜装置类型像差校正的离子光刻设备
机译: 光学系统中光像差的校正方法,以及基于该方法的光学系统和微镜制造
机译: 补偿光学拾取器装置中的彗形像差和/或球面像差的光学系统以及具有该光学系统的光学拾取器装置