公开/公告号CN109725234A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-07
原文格式PDF
申请/专利权人 山东欣巽联信息科技有限公司;山东明源智能装备科技有限公司;
申请/专利号CN201910066165.1
申请日2019-01-24
分类号
代理机构
代理人
地址 277400 山东省枣庄市台儿庄区经济开发区广进路与阿里山路交汇处办公楼
入库时间 2024-02-19 09:22:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-31
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/08 申请日:20190124
实质审查的生效
2019-05-07
公开
公开
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机译: 物联网一种基于物联网的智能组件工艺管理方法及使用该方法的基板处理系统