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公开/公告号CN109671823A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-23
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201811500893.0
发明设计人 王东博;卓宁;张锦川;刘峰奇;王占国;
申请日2018-12-07
分类号H01L33/30(20100101);H01L33/06(20100101);H01L33/00(20100101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人张宇园
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2024-02-19 09:04:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L33/30 申请日:20181207
实质审查的生效
2019-04-23
公开
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