用于自动视觉缺陷检查之后的电子裸片覆墨的系统和方法

摘要

在提供半导体器件的方法(1000A)和具有用于执行该方法的指令的计算机可读介质中，该方法(1000A)包括接收(1005)第一晶圆缺陷图，其定义比较区域并标识晶圆的视觉缺陷位置。确定(1010)比较区域的格式，其中该格式选自包括裸片到裸片、部分镜头到部分镜头和全镜头到全镜头的组。如果比较格式不是裸片到裸片(1015)，则接收(1020)映射信息，其提供比较区域内的裸片位置。提供(1025)晶圆布局图，其标识晶圆内的裸片位置。