一种应用于补偿器的激光诱导微沟槽表面纳米化检测方法

摘要

本发明提供一种应用于补偿器的激光诱导微沟槽表面纳米化检测方法，包括以下过程：S1、制备多组补偿器的激光诱导微沟槽样品；S2、测量冲击区域表面残余应力，获得一组残余压应力；S3、计算出每种工艺参数下不同方向残余压应力均值；S4、绘制残余压应力均值随工艺参数变化曲线图；S5、测量沟槽深度；S6、通过透射电镜及电子衍射实验，验证激光功率为3GW/cm