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一种用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具

摘要

本发明公开了一种用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具,包括呈矩形状的底板,分别安装于所述底板四角下方的四个支脚,多个沿着所述底板的长度方向间隔设置于所述底板两侧边缘的第一V形定位块和第二V形定位块以及一个沿着所述底板的长度方向固定安装于所述底板中部上方的直角靠板,其中,所述第一V形定位块、第二V形定位块和直角靠板固定有3英寸大片,且所述第一V形定位块、第二V形定位块和所述3英寸大片与所述直角靠板的接触点间形成等腰三角形。本发明能够有效防止粘胶现象和降低破片率。

著录项

  • 公开/公告号CN109609999A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-04-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 成都泰美克晶体技术有限公司;

    申请/专利号CN201910119502.9

  • 发明设计人 叶嘉豪;陆旺;李辉;

    申请日2019-02-18

  • 分类号

  • 代理机构成都弘毅天承知识产权代理有限公司;

  • 代理人白桂林

  • 地址 610031 四川省成都市高新区西部园区天映路103号

  • 入库时间 2024-02-19 08:29:09

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-05-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B15/00 申请日:20190218

    实质审查的生效

  • 2019-04-12

    公开

    公开

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