一种偏振无关的多量子阱电吸收红外光通信光调制器

摘要

本发明公开了一种偏振无关的多量子阱电吸收红外光通信光调制器，包括：具有悬空区域的衬底层；具有四方排布、中心对称结构的刻蚀窗口的P型掺杂缓冲层；下隔离层；量子阱层；上隔离层；N型掺杂接触层；具有电极与接触层之间的连接窗口的绝缘层；N电极和P电极。刻蚀窗口采用采用规则多边形、不规则多边形或这些形状中几种形状的组合，优选为：(a)为六边形刻蚀窗口，按中心对称的方式排列；(b)为双矩形连接形刻蚀窗口，按中心对称的方式排列；(c)为矩形半圆连接形刻蚀窗口，按中心对称的方式排列。这些刻蚀窗口结构能够产生更大的双轴张应变，应变放大系数大幅度提高，大幅度减小器件尺寸。