一种在不透明基底上制备微结构的方法

摘要

本发明涉及一种在不透明基底上制备微结构的方法，该方法引入螺旋塔图案，该螺旋塔图案为由标示连续排列成的阵列，该阵列在水平面的投影中，由左向右横向排列n个标示后，朝上竖向排列n个标示，接着由右向左横向排列n个标示，然后向下竖向排列n‑1个标示…依次循环而构成回形图，各相邻标示在水平投影上的间距均为a，且各标示分别比按排列顺序位于其前面的标示竖向上升高度b，其中5≤n≤8，从而能在不同高度尝试刻写，进而找到合适的焦点起始位置，继而能实现在不透明基底上的准确光刻。本发明加工速度快，精度高，灵活性强，可在不透明基底上制备各种微结构，且制备过程简单易操作。