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一种基于高温光发射显微分析技术的失效点定位方法

摘要

本发明提供一种基于高温光发射显微分析技术的失效点定位方法,属于失效分析技术领域,包括:提供一具有承载平台的加热装置、一温度监测装置、一电压激励源以及一检测组件,将测试样品放置于承载平台上,并将电压激励源连接测试样品;通过加热装置将测试样品加热到预定温度,温度监测装置提供给测试者监测测试样品的实时温度,在实时温度到达预定温度时通过电压激励源向测试样品施加预定数值的电压激励,通过检测组件进行基于光发射显微分析技术的检测操作得到失效点的定位信息。本发明的有益效果:定位处于高温状态下的测试样品的漏电失效点,以找到失效原因,提升经济效益。

著录项

  • 公开/公告号CN109188252A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-01-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;

    申请/专利号CN201811204231.9

  • 发明设计人 潘永吉;

    申请日2018-10-16

  • 分类号

  • 代理机构上海申新律师事务所;

  • 代理人俞涤炯

  • 地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

  • 入库时间 2024-02-19 07:49:49

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-02-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/28 申请日:20181016

    实质审查的生效

  • 2019-01-11

    公开

    公开

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