一种高纯氧化铝多晶料中痕量杂质元素的测定方法

摘要

本发明为一种高纯氧化铝多晶料中痕量杂质元素的测定方法。一种高纯氧化铝多晶料中杂质元素的测定方法，包括：(1)将块状高纯氧化铝多晶料试样破碎成多晶颗粒；(2)取多晶颗粒置于两块高纯钽片之间，加压，镶嵌至高纯钽片的表面；(3)将高纯钽片放入GD‑MS样品夹具中，镶嵌有高纯氧化铝多晶料的一面为检测面；(4)离子源抽真空，在脉冲模式下调节放电电压和放电电流；(5)在步骤(4)设定的条件下进行脉冲辉光放电质谱仪分析，采集待测元素的信号强度，计算出待测杂质元素的质量分数。该测定方法，避免了由于氧化铝多晶样品不规则或表面粗糙程度对放电及检测结果的影响，可直接用于高纯度氧化铝多晶料的杂质测定。