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有毒气体柜及包括其的有毒气体处理系统

摘要

本发明提供一种有毒气体柜,包括:柜体以及柜门,所述柜门连接到所述柜体,所述柜门与所述柜体限定容纳空间;其中,所述柜体包括内壁、外壁以及由所述内壁和所述外壁限定的中空腔室,所述内壁的内侧上设有至少一个连接所述容纳空间和所述中空腔室的抽气阀门。本发明还提供一种有毒气体处理系统,包括有毒气体柜、真空泵以及干式吸附尾气处理装置。

著录项

  • 公开/公告号CN109530381A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-03-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 德淮半导体有限公司;

    申请/专利号CN201811395104.1

  • 发明设计人 石志平;倪明明;吴宗祐;林宗贤;

    申请日2018-11-21

  • 分类号B08B15/02(20060101);B01D53/04(20060101);

  • 代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;

  • 代理人吴敏

  • 地址 223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

  • 入库时间 2024-02-19 07:11:44

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-04-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):B08B15/02 申请日:20181121

    实质审查的生效

  • 2019-03-29

    公开

    公开

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