准切变模式多层共烧压电致动器及其多层共烧制备方法

摘要

本发明公布了一种准切变模式多层共烧压电致动器及制备方法，包括排成2×2矩阵的四个驱动单元；驱动单元均为含内电极的多层压电陶瓷结构，均沿厚度方向交替正负极化；各驱动单元施加的电场方向均和极化方向平行或反平行；驱动单元中含内电极的多层压电陶瓷片在电路上为并联连接；按电极划分为四个d31模式驱动单元或四个d33模式驱动单元；底部与固定座固定连接，上表面为位移输出端；包括：d36、d35和d34准切变模式多层共烧压电致动器，可应用于精密制造、加工、驱动等精密定位相关领域。本发明方法实现器件小型化、精密化、低成本批量化制备，能够提升器件功能的温度与结构稳定性。