一种悬浮梁-膜结构的制备方法

摘要

一种悬浮梁‑膜结构的制备方法,属于压力传感器制备领域。解决了采用光刻胶或聚酰亚胺作为牺牲层制备悬浮梁‑膜表面不光滑，导致悬浮梁‑膜的长期稳定性和一致性差及采用硅片的湿法腐蚀工艺制备悬浮梁‑膜结构边缘不整齐，容易断裂且悬浮梁‑膜材料受限的问题。本发明利用生长出来的多孔硅层作为牺牲层，制备出来的多孔硅层表面光滑，因此，长在其上的悬浮梁‑膜结构层均匀且光滑，保证了悬浮梁‑膜结构层的长期稳定性及一致性；另一方面，只对多孔硅层释放窗口和悬浮梁‑膜结构层下方所对应的多孔硅层进行腐蚀，不腐蚀悬浮梁‑膜结构层，因此，使其制备的悬浮梁‑膜结构层更加的整齐，不易断裂。本发明主要用于传感器的制备。