机译:研究不同等离子增强化学气相沉积反应器配置对氢化非晶硅薄膜性能的影响
机译:研究不同等离子增强化学气相沉积反应器配置对氢化非晶硅薄膜性能的影响
机译:通过等离子体增强化学气相沉积法沉积的器件级氢化非晶硅氮薄膜的光学,结构和电学性质
机译:通过等离子体增强化学气相沉积法生长的氢化非晶硅厚膜的结晶动力学
机译:通过等离子体增强的化学气相沉积沉积氢化非晶碳化硅薄膜
机译:使用直流等离子体等离子体增强化学气相沉积法合成化学计量的氢化非晶碳化硅薄膜。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:通过等离子体增强的化学气相沉积沉积氢化非晶碳化硅薄膜
机译:研究氢化无定形碳薄膜的化学,机械和表面性质