Zerstorungsfreie Messung der Schichtdicke und Oberflachencharakterisierung

摘要

Mit der Photometrie werden in der Messtechnik, bis anhin kaum fur moglich gehaltene Anwendungen erschlossen und bisherige Anwendungen bedeutend erweitert. Die exakte Vermessung dunner Beschichtungen oder die zerstorungsfreie Charakterisierung von Oberflachen gehoren heute zu den Anwendungen in der Praxis.