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机译:高精度激光衍射仪:利用光栅的误差分离法对角标度进行溯源
optical diffractometer; pitch calibration; grating; angle encoder calibration; nanometrology;
机译:高精度激光衍射仪:利用光栅的误差分离法对角标度进行溯源
机译:成像激光衍射仪,用于可追溯的光栅间距校准
机译:使用激光扫描测微仪测量系统精确测量微钻头跳动的误差分离方法
机译:时间光栅位移传感器的非线性误差分离与自校正方法
机译:用于无线痕量气体传感器网络的高精度激光光谱仪。
机译:同时测量直线和旋转轴的6DOF几何运动误差的方法
机译:一种新的定位精度控制方法,适用于机载激光扫描仪数据的非正常误差