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机译:用于MEMS气体传感器的低功耗微加工双螺旋加热板
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机译:用于气体传感应用的高温低功率性能微加工悬挂式微加热板
机译:用于化学气体传感器的表面微加工穿孔膜加热板的设计和电热分析
机译:使用前侧蚀刻腔对气体传感器的双螺旋MEMS热板的研制
机译:微热板气体传感器的动态建模和优化。
机译:具有集成微孔板的低功耗MEMS IDE电容器:用作使用金属有机框架涂层作为亲和层的甲醇传感器
机译:沉积在用于低功率气体传感器的聚合物加热板上的氧化锌纳米线
机译:芯片上的微机械传感器系统:mEms与CmOs的集成及其应用