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机译:原子层沉积的超薄TaN和Ta1-xAlxNy薄膜用于铜扩散阻挡层的原位匝道退火X射线衍射研究
机译:原子层沉积的超薄TaN和Ta1-xAlxNy薄膜用于铜扩散阻挡层的原位匝道退火X射线衍射研究
机译:Si和TaN / Si上沉积的Ru原子层对Cu互连的阻隔应用的热稳定性
机译:通过逐层原位原子层退火技术对AlN超薄膜进行低温原子层外延
机译:超薄TaN和三元Ta_(1-x)Al_xN_y膜的原子层沉积,用于高级互连中的Cu扩散阻挡层应用
机译:铜金属化和原子层沉积的高κ膜扩散阻挡层的基础研究
机译:逐层原位原子层退火法制备AlN超薄膜的低温原子层外延
机译:通过层,原位原子层退火的低温原子层对AlN超薄膜的外延