Automatische Fokusjustierung: Piezoantriebe fur die Mikroskopie

摘要

Die Mikroskopie ist heute ohne Automatisierungstechnik kaum noch denkbar. Handelsubliche Schrittmotoren erreichen zwar die notwendigen Geschwindigkeiten und Auflosungen im Mikrometerbereich und eignen sich damit als Antriebe fur einen Proben-Scan in x-y-Richtung. Fur Bewegungen in Richtung der optischen Achse hingegen sind weitaus hohere Auflosungen erforderlich, gleichzeitig sind langsame Einschwingzeiten der Antriebe hier unerwunscht. Fur die Fokus-Feinjustierungen sind Piezoantriebe (Bild 1) daher weitaus besser geeignet.