燃焼式排ガス処理装置の新機種「オウサード」

摘要

半導体·液晶製造で20年以上の実績を誇る燃焼式排ガス処理装置「ガーディアンシリーズ」の高性能·低燃費バーナーを搭載、また短時間のメンテナンスを実現する同社オリジナルの横型燃焼室などの技術を応用した新機種「OCSERD（オクサード）」。太陽電池·LED製造用に特化して開発された。