ラボスケールでのX線による最近の評価技術と薄膜最表面の解析

摘要

近年の電子機器や精密装置の性能向上と高付加価値化に伴い、試験分析の分野においても測定装置や分析装置の技術向上には著しいものがある。 また、従来では測定原理として紹介されていても、駆動システムの精密化や微弱な信号の検出などのために困難であり、感度が十分に得られずに分析技術の確立ができなかったものも、このような技術革新の流れの中で汎用的な分析技術として急速に市場に広がっている。