レーザー超音波可視化検査装置の原理と適用事例

摘要

我々はレーザー光を対象物に高速スキャンし、そこから発生する熱歪超音波により、欠陥を可視化して検査できる、世界初のレーザー超音波可視化検査装置を開発した。本稿で、その原理と適用事例を紹介する。