超小型·超高性能クリーンベンチ - デスクトップ上をわずか1分でクラス100の清浄度環境に

摘要

最新の電子部品は100μm×50μm ×50μmのサイズまで超微細化して、ついに肉眼では見えなくなった。一方、これらの超微細部品を支えるクリーン環境技術は昔のままで進化していない。環境技術がニーズに追い付いていけないのである。結果として、工場の関係者は常に異物問題に頭を抱えている。この問題を解決したいと常識への挑戦が始まった。原点に戻ってゼロベースで見直してみると、そこには従来のクリーンベンチの原理的な欠陥が見えてきた。この状態では清浄度を上げることは難しい。どうしたら問題を解決できるか。その原因を探求する中から、新しい構造の超小型·超高性能クリーンベンチが誕生した。