高電圧ナノ秒パルス電源の低インピーダンス化

摘要

我々の研究室で開発した「ナノ秒パルス電源」は金属電極間へ高速な立ち上がり並びに立ち下がりが約2ns、半値幅が5ns、50kV～100kV程度の電圧を印加することができる極短パルス発生装置である。この電源を用いて生成するプラズマは非熱平衡プラズマのみで構成されており、生成過程のエネルギー損失が小さくなっている。本研究では、大容量で高速なガス処理や汚染水処理を行うために更なる高出力なナノ秒パルス電源の開発が必要であると考えた。