パターニング方法及びパターニング装置

摘要

パターニング方法は、（i）光照射面を有する底部を備える造形用トレイに、第1比重d1を有する液状の離型材料、および第1比重d1より小さい第2比重d2を有し、かつ離型材料·と相分離する液状のパターニング材料を供給して、底部に接触する離型材料の第1液層を設けるとともに、第1液層上に第1液層と接触するパターニング材料の第2液層を形成して、第2液層の第1液層との界面近傍においてパターニング材料の液膜を形成する工程と、（ii）第1液層を介して液膜に対して光を照射して、液膜を光硬化させ、パターンを形成する工程とを備える。